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KASUGA春日/KSD-0120/静电测试仪
KASUGA KSD-0120 静电电位监视装置产品特点:
1:能用1台控制器连接*大2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。
2:因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。
3:因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
4:装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
产品用途:
1:在平板显示器生产工序的带电量发生器监视。
2:半导体wafer带电量监视。
3:用于LSI的处理和印刷电路板搬送的带电量监视。
产品规格:
型号 | KSD-0120 |
表示范围 | 有效距离① ±1~±1999V |
有效距离②±0.01~±19.99kV | |
模拟输出 | 0~±5V |
测量精度 | ±10%以内 |
警报设定 | 2频道独立设定及加减独立设定 |
警报输出 | 集电极开路(警报设定输出及传感器故障输出) |
电源 | DC12~24V或是AC适配器 |
消耗电力 | 20VA |
环境 | 温度0~40℃、湿度65%RH以下(不会结冰打霜) |
重量 | 约360g |
传感器部
型号
KS-2100
感应方式
振动型表面电位传感器
测量范围
有效距离① ±1~±2000V
有效距离② ±0.01~±20.00kV
模拟输出
0~±5V
测量精度
±10%以内
测量基准距离
有效距离① 10mm
有效距离② 50mm
警报
感应传感器故障LED表示、外部输出
电源
由KSD-0120供给
环境
温度0~40℃、湿度65%RH以下(不会结冰打霜)
重量
约100g(含电缆)
附属品
专用电缆5m(可用*大100m)
电话:86-755-83501888-832
邮箱:fangxm87@esugimoto.com
网址:http://www.esugimoto.com
联络人:方晓明