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产品详情
  • 产品名称:日本SIMCOION空间除静电器4214

  • 产品型号:4214
  • 产品厂商:SIMCO思美高
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简单介绍:
日本SIMCOION空间除静电器4214 负离子4214模型(离子系统制造),可以实现一个良好的离子平衡,对应延长ISO Class1,10nm的”高纯度氮气离子系统。
详情介绍:

対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
 
负离子4214模型(离子系统制造),可以实现一个良好的离子平衡,对应延长ISO Class110nm高纯度氮气离子系统。
 
   
特征
·         采用单结晶硅电极支持超低粒子。
·         确保一个稳定的长期自身机制的清洁不干净颗粒释放到外部
·         采用智能控制电路,不需要任何调整
·         离子一代不断监测传感器的内部器官,取得了一定的电离
·         内置的集成电源控制器的设计紧凑
·         在低流量,高电压自动关机功能保护产品
·         *适合超低粒子半导体制造工艺的**
·         24V直流驱动器
 
规范
输入电压
24V DC + / -5%6W典型。
离子平衡
<+ /-25V无40LPM距离150毫米管道连接
放电时间
<10秒,无管道连接40LPM距离150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充电平板显示器
离子生成方法
高频交流电晕放电法
卫生
ISO Class1的,“的ISO Class1的,10nm的延伸”0.1微米*
电极
可以更换单晶硅
支持吹扫气体
N2> 99.998
40LPM(36.5Kpa)90LPM(171kpa)
*大压力吹扫
(流量= 100LPM)207Kpa
*大的气体温度
60degÇ
氮气吹扫连接
水暖Swagelok3 / 8“OD
N2连接电离
1/4NPT内螺纹连接选项或联合
管道连接Swagelok1 / 2“外径28-25710-SC
工作温度范围
1560degç
信号输出
打开/关闭,离子产量下降的报警和接触
的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米宽长度的
管段不包括在内
重量
640
外观
不锈钢
安装方法
长度超过10mm M5 Nejineji回少
 
 
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