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新闻详情
SIMCOION对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635
日期：2025-06-19 10:51
浏览次数：551
摘要：
对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635
5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
特征
- 采用在世界上****的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
- 通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。
· 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。
· 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。
· 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。
· 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。
· 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静**长度。
· 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。
· 可用于全球高层次网络。
规范
AeroBar MP的5635型号
| 输入电压 | 24V DC + / -10％ |
| 输出电压 | *大可调至约13.5kv PP |
| 安装距离 | 100毫米〜1000毫米（无空气净化） |
| 离子生成方法 | 电晕放电法 PM（脉冲变调）方式 变动频率 1 ～ 33 Hz |
| 离子平衡度 | 自动平衡调节方法 <+/-10V内离子风棒直下根据位置的不同会有差异<+/-10v (600 mm距離） |
| 电极 | 单晶硅电极 可更换 |
| 吹气 | 清洁干燥的空气或氮气 |
| *大气压力 | 310Kpa |
| 臭氧产生量 | <0.05PPM（24时总值） |
| 信号输出 | 报警IO 电极输出 |
| 维 | 高78mm*宽34mm*t长（如下值） |
| 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm | |
| 外观 | ABS树脂 |
关于ISO Class1。10nm的延伸？
延长ISO Classl.10mm，是基于ION Systems为了应对微小型颗料而自定的清洁度。ISO14644-1是*小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。
SIMCOION对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635、SIMCOION对应扩张ISO Class1,10nm的离子风棒AeroBarMP 5635