- 联系人 : 谢佳丽女士
- 联系电话 : 86-755-36975666 83501888
- 传真 : 86-755-89698555
- 移动电话 : (0)15889577836
- 地址 : 深圳市龙华新区油松村第十工业区民欢路8号航天科工苑1栋4楼
- Email : jiali.xie@esugimoto.com
- 公司网址 : www.esdjapan.com
- MSN : esdjapan@hotmail.com
- QQ : 1441275308
- 联系人 : 彭亚先生
- 联系电话 : 86-21-32550871 32550872
- 传真 : 86-21-32550870
- 移动电话 : (0)15921910222
- 地址 : 上海市长宁区威宁路458弄天山华庭17栋1001室
- Email : tom@esugimoto.com
- 公司网址 : http://www.esdjapan.com
- MSN : shsugimoto@live.cn
- QQ : 1012389097
- 联系人 : 余玲清小姐
- 联系电话 : 86-512-68053623-805 68053623-804
- 传真 : 86-512-68053632
- 移动电话 : (0)15995708444
- 地址 : 江苏省苏州市高新区滨河路588号赛格电子市场2D20室
- Email : suzhou@esugimoto.com
- 公司网址 : http://www.esdjapan.com
- MSN : szsugimoto@hotmail.com
- QQ : 867967519
- 联系人 : 杜江水先生
- 联系电话 : 86-22-23153990 86-22-23153991
- 传真 : 86-22-23150991
- 移动电话 : (0)15802202120
- 地址 : 天津市和平区南京路诚基大厦2号楼2门1316室
- Email : joyce@esugimoto.com
- 公司网址 : http://www.esdjapan.com
- MSN : tjsugimoto@hotmail.com
- QQ : 1484071014
- 联系人 : 黄伟先生
- 联系电话 : 0411-87189871
- 传真 : 0411-87188581
- 移动电话 : 13898697135
- 地址 : 辽宁省大连经济技术开发区格林小镇40号楼2单元302室
- Email : jimmy6839@hotmail.com
- 公司网址 : www.esdjapan.com
- QQ : 93236811
SIMCOION超清洁生产设备装置模型 AeroBar 5225
5225离子风棒是一款内置半导体超清洁生产装置的离子风棒。
采用在世界上****的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
单晶硅电极材料在世界上拥有****的优势，可以避免重金属污染的风险与超低粒子的特性。
通过脉冲DC方式可以广范围的除电。
全程数字电路控制，实现稳定的离子发生方式及维护长时间的离子平衡。
除电物附近设置有5200-SR传感器，不仅是离子风棒，除电物附近的离子平衡的反馈数据也可以得到控制（5200-SR没有接续的情况下，离子风棒内置的传感器可以自动调整离子平衡）
设定了适合半导体前工程用的EFEM长度的离子风棒。
离子发生力，离子产生时间，报警阈值等各种参数，在较大的范围内也可以设定。可以灵活的应对长距离操作及气流环境较弱的球境下的测量。
只有在输入相关的参数后可以得到较高的重复性及在短时间内的安置的可能。
装有简单的警报IO，通过利用无偿提供的DLL可以实时监控到时间进度把握程序装置内的运转状况。
型号5225 AeroBar
|
输入电压 |
通过24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6T供给 |
|
|||
|
沟通的形式 |
RS485（IM6T〜5225之间） |
|
|||
|
|
输出电压 |
0kv～約+/-20kv |
|||
|
|
输出形式 |
直流脉冲模式，稳态直流模式（可选） |
|||
|
|
输出电流 |
<内置一个15micro A的电流及电压限制器） |
|||
|
|
连接器 |
RJ11.4极4芯 |
|||
|
|
离子产生时序 |
*小0.1秒，*大10秒，可根据正负极进行设置 |
|||
|
|
电极 |
单晶硅电极 可更换 |
|||
|
|
臭氧发生器金额 |
<0.005ppm（24小时累计测量值） |
|||
|
|
对应清洁度 |
ISO Class1, 0.1 micron |
|||
|
尺寸 |
高53mm*宽34mm*长569mm(-22), 721mm(-28), |
|
|||
|
|
|
||||
|
|
907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),
|
||||
|
重量 |
-22:1.02kg 每增长30cm增重0.17kg |
|
|||
|
|
外观 |
ABS树脂 |
|||
接口模块5200-IM6T
|
输入电压 |
24VV DC+ / -5％，1.5A |
|
||
|
通信形式 |
Ethernet，RS232C |
|
||
|
|
报警输出 |
继电器接口（只限V4.0以上的版本） |
||
|
|
维 |
高74mm*宽71mm*ta 315mm |
||
|
|
重量 |
2kg |
||